Verfahren und Vorrichtung zur Erzeugung von Sekundärstrahlung, insbesondere Euv-Strahlung, mit wenigstens einem Laser
WO2024153515
Art A1
25. Juli 2024
Anmelder: DEUTSCHES ZENTRUM FÜR LUFT- UND RAUMFAHRT E.V. 🇩🇪
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- WO2024153515
- Aktenzeichen
- EP24700722
- Anmeldetag
- 10. Januar 2024
- Veröffentlichung
- 25. Juli 2024
- Rechtsraum
- WO
- IPC
- H05G2/00
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firma
- DEUTSCHES ZENTRUM FÜR LUFT- UND RAUMFAHRT E.V.
- Land
- 🇩🇪 Deutschland
🇩🇪
Deutsches Zentrum für Luft- und Raumfahrt
Deutsches Forschungszentrum für Luftfahrt, Raumfahrt, Energie und Verkehr mit Hauptsitz in Köln. Das DLR ist zugleich die deutsche Raumfahrtagentur und betreibt zahlreiche Institute im gesamten Bundesgebiet.
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