Removable Mask Layer To Reduce Overhang During Re-Sputter Process in Pvd Chambers

WO2024155351 Art A1 25. Juli 2024

Anmelder: APPLIED MATERIALS, INC. 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2024155351
Aktenzeichen: EP23917997
Anmeldetag: 22. November 2023
Veröffentlichung: 25. Juli 2024
Rechtsraum: WO
IPC: C23C14/04C23C14/14C23C14/34C23C14/54C23C14/06

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: APPLIED MATERIALS, INC.
Land: 🇺🇸 USA

🇺🇸 Applied Materials

US-amerikanisches Technologieunternehmen mit Sitz in Santa Clara, Kalifornien. Applied Materials entwickelt Fertigungsanlagen und Prozesstechnologien für die Halbleiter-, Display- und Solarindustrie, unter anderem für Beschichtung, Ätzen und Materialabscheidung.

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Fachgebiete

Metallurgie & Oberflächentechnik

Vertreten von