Direct Digitizing Detection Channel

WO2024156512 Art A1 2. August 2024

Anmelder: ASML NETHERLANDS B.V. 🇳🇱

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2024156512
Aktenzeichen: EP24700288
Anmeldetag: 10. Januar 2024
Veröffentlichung: 2. August 2024
Rechtsraum: WO
IPC: G01T1/17G01T1/24H01J37/244

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: ASML NETHERLANDS B.V.
Land: 🇳🇱 Niederlande

🇳🇱 ASML

Niederländisches Unternehmen, das Lithografiesysteme und weitere Anlagen für die Halbleiterfertigung entwickelt und herstellt, zentral für die Chipindustrie.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik

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