Target Material Storage Assembly For an Euv Radiation Source

WO2024156525 Art A1 2. August 2024

Anmelder: ASML NETHERLANDS B.V. 🇳🇱

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2024156525
Aktenzeichen: EP24700755
Anmeldetag: 11. Januar 2024
Veröffentlichung: 2. August 2024
Rechtsraum: WO
IPC: B22F3/15H05G2/00

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: ASML NETHERLANDS B.V.
Land: 🇳🇱 Niederlande

🇳🇱 ASML

Niederländisches Unternehmen, das Lithografiesysteme und weitere Anlagen für die Halbleiterfertigung entwickelt und herstellt, zentral für die Chipindustrie.

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Fachgebiete

Elektronik & Schaltungstechnik Werkzeug-, Fertigungs- & Drucktechnik

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