Substrate processing apparatus, estimation method, method for generating training data, training method, training apparatus, method for generating trained model, and trained model

WO2024157596 Art A1 2. August 2024

Anmelder: SCREEN HOLDINGS CO., LTD. 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2024157596
Aktenzeichen: EP23918551
Anmeldetag: 27. November 2023
Veröffentlichung: 2. August 2024
Rechtsraum: WO
IPC: H01L21/02G06N20/00H01L21/304

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: SCREEN HOLDINGS CO., LTD.
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 SCREEN Holdings

Japanischer Technologiekonzern. SCREEN Holdings stellt Fertigungsanlagen für die Halbleiterindustrie her, insbesondere Wafer-Reinigungs- und Beschichtungssysteme, sowie Druck- und Bildverarbeitungstechnik.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Software & Datenverarbeitung

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