Plasma processing system

WO2024158116 Art A1 2. August 2024

Anmelder: PLASMAPP CO., LTD., KOREA ADVANCED INSTITUTE OF SCIENCE AND TECHNOLOGY 🇰🇷

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2024158116
Aktenzeichen: EP23918751
Anmeldetag: 15. November 2023
Veröffentlichung: 2. August 2024
Rechtsraum: WO
IPC: H01J37/32A61N1/44

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firmen: PLASMAPP CO., LTD.
KOREA ADVANCED INSTITUTE OF SCIENCE AND TECHNOLOGY
Land: 🇰🇷 Südkorea

🇰🇷 KAIST

Südkoreanische technische Universität und Forschungsinstitution mit Fokus auf Ingenieurwissenschaften, Naturwissenschaften und Technologieentwicklung, unter anderem in Robotik und Elektronik.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Medizintechnik & Gesundheit

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