Systems and methods for controlling fast actuators in an impedance matching unit

WO2024158631 Art A1 2. August 2024

Anmelder: LAM RESEARCH CORPORATION 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2024158631
Aktenzeichen: EP24747578
Anmeldetag: 18. Januar 2024
Veröffentlichung: 2. August 2024
Rechtsraum: WO
IPC: H01J37/32H03H7/38

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: LAM RESEARCH CORPORATION
Land: 🇺🇸 USA

🇺🇸 Lam Research

US-amerikanischer Hersteller von Fertigungsanlagen für die Halbleiterindustrie mit Sitz in Fremont, Kalifornien, spezialisiert auf Ätz- und Beschichtungssysteme (Deposition) für die Chipproduktion.

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Fachgebiete

Elektronik & Schaltungstechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente

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