Techniques For Reducing Electromagnetic Interference Effects in Charged Particle Microscopy

WO2024159024 Art A2 2. August 2024

Anmelder: FEI COMPANY 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2024159024
Aktenzeichen: EP24747818
Anmeldetag: 25. Januar 2024
Veröffentlichung: 2. August 2024
Rechtsraum: WO
IPC: G01R15/18H01J27/20

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: FEI COMPANY
Land: 🇺🇸 USA

🇺🇸 FEI Company

US-amerikanischer Hersteller von Elektronenmikroskopen und wissenschaftlichen Bildgebungssystemen, seit 2016 Teil von Thermo Fisher Scientific. Patente betreffen Elektronen- und Ionenmikroskopie sowie Materialanalyse.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik

Vertreten von