Verfahren zur Reinigung einer Halbleiterscheibe

WO2024160595 Art A1 8. August 2024

Anmelder: SILTRONIC AG 🇩🇪

Details

Veröffentlichungs-Nr.
WO2024160595
Aktenzeichen
EP24701862
Anmeldetag
23. Januar 2024
Veröffentlichung
8. August 2024
Rechtsraum
WO
IPC
H01L21/306H01L21/02
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma
SILTRONIC AG
Land
🇩🇪 Deutschland
🇩🇪 Siltronic

Deutscher Halbleiterzulieferer mit Sitz in München. Siltronic stellt hochreine Siliziumwafer für die Chip- und Elektronikindustrie her.

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