Processes for maintenance of modules of light sources in semiconductor photolithography

WO2024161222 Art A1 8. August 2024

Anmelder: CYMER, LLC 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2024161222
Aktenzeichen: EP24706188
Anmeldetag: 11. Januar 2024
Veröffentlichung: 8. August 2024
Rechtsraum: WO
IPC: G06N20/00G03F7/00G06N5/01H01S3/00H01S3/225H01S3/23H01S3/30

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: CYMER, LLC
Land: 🇺🇸 USA

🇺🇸 Cymer

Cymer ist ein US-amerikanisches Unternehmen für Lichtquellen zur Halbleiterlithografie, das zum ASML-Konzern gehört. Das Patentportfolio konzentriert sich sehr stark auf Halbleiter und elektrische Bauelemente sowie Optik und Fototechnik. Anmeldungen laufen kontinuierlich seit dem Jahr 2000.

399 Patente in unserer Datenbank

Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Optik & Fototechnik Software & Datenverarbeitung

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