Conveyance method, conveyance device, and analysis system

WO2024161507 Art A1 8. August 2024

Anmelder: HITACHI HIGH-TECH CORPORATION 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2024161507
Aktenzeichen: EP23918906
Anmeldetag: 31. Januar 2023
Veröffentlichung: 8. August 2024
Rechtsraum: WO
IPC: H01J37/20H01J37/28H01J37/305H01J37/317

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: HITACHI HIGH-TECH CORPORATION
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 Hitachi High-Tech Corporation

Japanisches Unternehmen der Hitachi-Gruppe, spezialisiert auf Analysegeräte, medizinische Diagnostik und Fertigungsanlagen für die Halbleiterindustrie.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente

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