Substrate processing system, computation apparatus, exposure apparatus, computation method, exposure method, and method for manufacturing electronic device

WO2024162335 Art A1 8. August 2024

Anmelder: NIKON CORPORATION 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2024162335
Aktenzeichen: EP24750284
Anmeldetag: 30. Januar 2024
Veröffentlichung: 8. August 2024
Rechtsraum: WO
IPC: H01L21/02G03F9/00

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: NIKON CORPORATION
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 Nikon

Japanisches Technologieunternehmen mit Sitz in Tokio. Nikon entwickelt optische Geräte und Präzisionstechnik, darunter Kameras, Objektive, Mikroskope sowie Lithografie- und Messsysteme für die Halbleiterfertigung.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Optik & Fototechnik

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