Method of multi-layer die stacking with die-to-wafer bonding

WO2024163048 Art A1 8. August 2024

Anmelder: APPLIED MATERIALS, INC. 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.
WO2024163048
Aktenzeichen
EP23920262
Anmeldetag
1. Dezember 2023
Veröffentlichung
8. August 2024
Rechtsraum
WO
IPC
H01L23/00H01L23/31H01L23/485H01L23/498H01L23/538H01L21/56
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma
APPLIED MATERIALS, INC.
Land
🇺🇸 USA
🇺🇸 Applied Materials

US-amerikanisches Technologieunternehmen mit Sitz in Santa Clara, Kalifornien. Applied Materials entwickelt Fertigungsanlagen und Prozesstechnologien für die Halbleiter-, Display- und Solarindustrie, unter anderem für Beschichtung, Ätzen und Materialabscheidung.

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