Carrier system for a cvd apparatus, a cvd apparatus, method for operating a cvd apparatus

WO2024165169 Art A1 15. August 2024

Anmelder: AMS-OSRAM INTERNATIONAL GMBH 🇩🇪

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2024165169
Aktenzeichen: EP23704778
Anmeldetag: 10. Februar 2023
Veröffentlichung: 15. August 2024
Rechtsraum: WO
IPC: C23C16/54C23C16/458C30B25/12H01L21/67H01L21/683H01L21/687

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: AMS-OSRAM INTERNATIONAL GMBH
Land: 🇩🇪 Deutschland

🇩🇪 ams OSRAM

ams OSRAM International GmbH ist ein deutsch-österreichischer Hersteller von Sensoren und optoelektronischen Bauteilen, entstanden aus dem Zusammenschluss von ams und Osram.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Metallurgie & Oberflächentechnik

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