Method for manufacturing high-performance bvo thin film and bvo thin film manufactured thereby

WO2024167099 Art A1 15. August 2024

Anmelder: KOREA INSTITUTE OF MACHINERY&MATERIALS 🇰🇷

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2024167099
Aktenzeichen: EP23921472
Anmeldetag: 31. Oktober 2023
Veröffentlichung: 15. August 2024
Rechtsraum: WO
IPC: C23C18/12C25B11/04C25B1/04H01L31/0224

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: KOREA INSTITUTE OF MACHINERY&MATERIALS
Land: 🇰🇷 Südkorea

🇰🇷 Korea Institute of Machinery & Materials

Das Korea Institute of Machinery & Materials ist ein staatliches südkoreanisches Forschungsinstitut für Maschinenbau und Werkstofftechnik. Das Patentportfolio konzentriert sich auf Werkzeug-, Fertigungs- und Drucktechnik sowie Halbleiter und elektrische Bauelemente, ergänzt durch Verfahrenstechnik und Messtechnik. Anmeldungen erstrecken sich von 2000 bis 2025.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Metallurgie & Oberflächentechnik

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