Multilayer molecular film photoresist having molecular line structure comprising organic monomers having cross-linking functional groups, and preparation method therefor
WO2024167349
Art A1
15. August 2024
Anmelder: IUCF-HYU (INDUSTRY-UNIVERSITY COOPERATION FOUNDATION HANYANG UNIVERSITY) 🇰🇷
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- WO2024167349
- Aktenzeichen
- EP24753670
- Anmeldetag
- 8. Februar 2024
- Veröffentlichung
- 15. August 2024
- Rechtsraum
- WO
- IPC
- G03F7/004G03F7/038G03F7/09G03F7/16G03F7/20
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firma
- IUCF-HYU (INDUSTRY-UNIVERSITY COOPERATION FOUNDATION HANYANG UNIVERSITY)
- Land
- 🇰🇷 Südkorea
🇰🇷
Iucf-hyu (Industry-University Cooperation Foundation Hanyang University)
Die IUCF-HYU verwaltet Forschungsergebnisse und Patente der Hanyang University in Südkorea. Das Patentportfolio konzentriert sich auf Halbleiterbauelemente sowie Medizintechnik, ergänzt um anorganische Chemie und Software. Anmeldungen reichen von 2002 bis 2025.
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