Vertical photo-assisted metal-organic chemical vapor deposition device and deposition method thereof

WO2024169148 Art A1 22. August 2024

Anmelder: Peking University 🇨🇳

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2024169148
Aktenzeichen: EP23922271
Anmeldetag: 17. August 2023
Veröffentlichung: 22. August 2024
Rechtsraum: WO
IPC: C30B25/12C30B25/14

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Peking University
Land: 🇨🇳 China

🇨🇳 Peking University

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Fachgebiete

Metallurgie & Oberflächentechnik

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