Charged particle-optical element, charged particle-optical module, assessment apparatus, chip assembly, method of manufacturing

WO2024170229 Art A2 22. August 2024

Anmelder: ASML NETHERLANDS B.V. 🇳🇱

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2024170229
Aktenzeichen: EP24701239
Anmeldetag: 23. Januar 2024
Veröffentlichung: 22. August 2024
Rechtsraum: WO
IPC: H01J37/04H01J37/24H01J37/244

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: ASML NETHERLANDS B.V.
Land: 🇳🇱 Niederlande

🇳🇱 ASML

Niederländisches Unternehmen, das Lithografiesysteme und weitere Anlagen für die Halbleiterfertigung entwickelt und herstellt, zentral für die Chipindustrie.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente

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