System mit einer Lithographieanlage und einer Anzahl von Elektronikmodulen und Verfahren zum Betreiben eines Systems

WO2024170251 Art A1 22. August 2024

Anmelder: CARL ZEISS SMT GMBH 🇩🇪

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2024170251
Aktenzeichen: EP24702690
Anmeldetag: 26. Januar 2024
Veröffentlichung: 22. August 2024
Rechtsraum: WO
IPC: G03F7/00

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: CARL ZEISS SMT GMBH
Land: 🇩🇪 Deutschland

🇩🇪 Carl Zeiss SMT

Deutsches Unternehmen der Carl Zeiss Gruppe mit Sitz in Oberkochen, das optische Systeme und Lithographieoptiken für die Halbleiterindustrie entwickelt.

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Fachgebiete

Optik & Fototechnik

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