System and method for position control

WO2024170437 Art A1 22. August 2024

Anmelder: ASML NETHERLANDS B.V. 🇳🇱

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2024170437
Aktenzeichen: EP24704770
Anmeldetag: 9. Februar 2024
Veröffentlichung: 22. August 2024
Rechtsraum: WO
IPC: G05B19/042

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: ASML NETHERLANDS B.V.
Land: 🇳🇱 Niederlande

🇳🇱 ASML

Niederländisches Unternehmen, das Lithografiesysteme und weitere Anlagen für die Halbleiterfertigung entwickelt und herstellt, zentral für die Chipindustrie.

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Fachgebiete

Steuerungs- & Regelungstechnik

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