Gas supply method and gas supply device

WO2024171548 Art A1 22. August 2024

Anmelder: TAIYO NIPPON SANSO CORPORATION 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2024171548
Aktenzeichen: EP23922881
Anmeldetag: 17. November 2023
Veröffentlichung: 22. August 2024
Rechtsraum: WO
IPC: C23C16/448H01L21/31

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: TAIYO NIPPON SANSO CORPORATION
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 Taiyo Nippon Sanso

Taiyo Nippon Sanso ist ein japanischer Hersteller von Industriegasen und zugehörigen Anlagen, Teil der Mitsubishi-Chemical-Gruppe. Der Patentbestand konzentriert sich auf Verfahrens- und Trenntechnik sowie Wärme-, Fertigungs- und Werkstofftechnik.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Metallurgie & Oberflächentechnik

Vertreten von