Performance prediction method and training method
WO2024171611
Art A1
22. August 2024
Anmelder: GIGAPHOTON INC. 🇯🇵
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- WO2024171611
- Aktenzeichen
- EP23922944
- Anmeldetag
- 20. Dezember 2023
- Veröffentlichung
- 22. August 2024
- Rechtsraum
- WO
- IPC
- H01S3/00
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firma
- GIGAPHOTON INC.
- Land
- 🇯🇵 Japan
🇯🇵
Gigaphoton
Gigaphoton ist ein japanischer Hersteller von Excimer-Lasersystemen für die Halbleiterlithografie, ein Gemeinschaftsunternehmen unter Beteiligung von Komatsu. Das Patentportfolio konzentriert sich auf Halbleiter und elektrische Bauelemente sowie Optik und Elektronik. Anmeldungen erstrecken sich von 2001 bis 2023.
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