Flow path chip and method of producing flow path chip

WO2024171741 Art A1 22. August 2024

Anmelder: SCREEN HOLDINGS CO., LTD. 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.
WO2024171741
Aktenzeichen
EP24756592
Anmeldetag
24. Januar 2024
Veröffentlichung
22. August 2024
Rechtsraum
WO
IPC
B01D57/02B03C5/00C12M1/00C12M1/26G01N35/08G01N37/00
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma
SCREEN HOLDINGS CO., LTD.
Land
🇯🇵 Japan
🇯🇵 SCREEN Holdings

Japanischer Technologiekonzern. SCREEN Holdings stellt Fertigungsanlagen für die Halbleiterindustrie her, insbesondere Wafer-Reinigungs- und Beschichtungssysteme, sowie Druck- und Bildverarbeitungstechnik.

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