Maskenmetrologische Messvorrichtung und Verfahren zum Untersuchen einer Fotomaske

WO2024175274 Art A1 29. August 2024

Anmelder: CARL ZEISS SMT GMBH, CARL ZEISS SMS LTD. 🇩🇪

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2024175274
Aktenzeichen: EP24700999
Anmeldetag: 17. Januar 2024
Veröffentlichung: 29. August 2024
Rechtsraum: WO
IPC: G03F7/00G03F1/84G03F1/72

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firmen: CARL ZEISS SMT GMBH
CARL ZEISS SMS LTD.
Land: 🇩🇪 Deutschland

🇩🇪 Carl Zeiss SMT

Deutsches Unternehmen der Carl Zeiss Gruppe mit Sitz in Oberkochen, das optische Systeme und Lithographieoptiken für die Halbleiterindustrie entwickelt.

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Fachgebiete

Optik & Fototechnik

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