Computer implemented method for the detection of defects in an object comprising integrated circuit patterns and corresponding computer program product, computer-readable medium and system making use of such methods

WO2024175307 Art A1 29. August 2024

Anmelder: CARL ZEISS SMT GMBH 🇩🇪

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2024175307
Aktenzeichen: EP24702722
Anmeldetag: 26. Januar 2024
Veröffentlichung: 29. August 2024
Rechtsraum: WO
IPC: G06T7/00G06T7/30

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: CARL ZEISS SMT GMBH
Land: 🇩🇪 Deutschland

🇩🇪 Carl Zeiss SMT

Deutsches Unternehmen der Carl Zeiss Gruppe mit Sitz in Oberkochen, das optische Systeme und Lithographieoptiken für die Halbleiterindustrie entwickelt.

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Fachgebiete

Software & Datenverarbeitung

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