Anomaly detection device and anomaly detection method

WO2024176347 Art A1 29. August 2024

Anmelder: HITACHI HIGH-TECH CORPORATION 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2024176347
Aktenzeichen: EP23924001
Anmeldetag: 21. Februar 2023
Veröffentlichung: 29. August 2024
Rechtsraum: WO
IPC: H01L21/02G05B19/418G05B23/02H01L21/3065H01L21/66

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: HITACHI HIGH-TECH CORPORATION
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 Hitachi High-Tech Corporation

Japanisches Unternehmen der Hitachi-Gruppe, spezialisiert auf Analysegeräte, medizinische Diagnostik und Fertigungsanlagen für die Halbleiterindustrie.

4.287 Patente in unserer Datenbank

Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Steuerungs- & Regelungstechnik

Vertreten von