Epitaxial silicon wafer, method for producing same, and method for producing semiconductor device

WO2024176711 Art A1 29. August 2024

Anmelder: SUMCO CORPORATION 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.
WO2024176711
Aktenzeichen
EP24760018
Anmeldetag
25. Januar 2024
Veröffentlichung
29. August 2024
Rechtsraum
WO
IPC
H01L21/322
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma
SUMCO CORPORATION
Land
🇯🇵 Japan
🇯🇵 Sumco

Sumco ist ein japanischer Hersteller von Siliziumwafern für die Halbleiterindustrie. Das Patentportfolio konzentriert sich entsprechend auf Halbleiter und elektrische Bauelemente sowie Metallurgie- und Fertigungstechnik. Anmeldungen sind von 2000 bis in die Gegenwart belegt.

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