Far-ultraviolet irradiation device

WO2024176782 Art A1 29. August 2024

Anmelder: RIKEN 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2024176782
Aktenzeichen: EP24760088
Anmeldetag: 2. Februar 2024
Veröffentlichung: 29. August 2024
Rechtsraum: WO
IPC: H01L33/60B01J19/12H01L33/00H01L33/32H01L33/58H01L33/62H01L33/64

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: RIKEN
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 RIKEN

Japanische staatliche Forschungseinrichtung mit Sitz in Wako bei Tokio, aktiv in Physik, Chemie, Biologie und Ingenieurwissenschaften mit zahlreichen Forschungszentren.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Verfahrens- & Trenntechnik

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