Impurity Reduction in Radical Treatment Chamber

WO2024177754 Art A1 29. August 2024

Anmelder: APPLIED MATERIALS, INC. 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2024177754
Aktenzeichen: EP24760741
Anmeldetag: 22. Januar 2024
Veröffentlichung: 29. August 2024
Rechtsraum: WO
IPC: C23C16/56C23C16/54C23C16/44C23C16/46

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: APPLIED MATERIALS, INC.
Land: 🇺🇸 USA

🇺🇸 Applied Materials

US-amerikanisches Technologieunternehmen mit Sitz in Santa Clara, Kalifornien. Applied Materials entwickelt Fertigungsanlagen und Prozesstechnologien für die Halbleiter-, Display- und Solarindustrie, unter anderem für Beschichtung, Ätzen und Materialabscheidung.

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Fachgebiete

Metallurgie & Oberflächentechnik

Vertreten von