Method of manufacturing an electrostatic object clamp, electrostatic object clamp and semiconductor processing apparatus

WO2024179830 Art A1 6. September 2024

Anmelder: ASML NETHERLANDS B.V. 🇳🇱

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2024179830
Aktenzeichen: EP24705422
Anmeldetag: 13. Februar 2024
Veröffentlichung: 6. September 2024
Rechtsraum: WO
IPC: G03F7/00H01L21/683H01L21/687

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: ASML NETHERLANDS B.V.
Land: 🇳🇱 Niederlande

🇳🇱 ASML

Niederländisches Unternehmen, das Lithografiesysteme und weitere Anlagen für die Halbleiterfertigung entwickelt und herstellt, zentral für die Chipindustrie.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Optik & Fototechnik

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