Verfahren zum Ausrichten von Zwei Bauteilen und Verfahren zum Ansprengen von Zwei Bauteilen

WO2024179918 Art A1 6. September 2024

Anmelder: CARL ZEISS SMT GMBH 🇩🇪

Details

Veröffentlichungs-Nr.
WO2024179918
Aktenzeichen
EP24707027
Anmeldetag
22. Februar 2024
Veröffentlichung
6. September 2024
Rechtsraum
WO
IPC
C03C27/06H01L23/00
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma
CARL ZEISS SMT GMBH
Land
🇩🇪 Deutschland
🇩🇪 Carl Zeiss SMT

Deutsches Unternehmen der Carl Zeiss Gruppe mit Sitz in Oberkochen, das optische Systeme und Lithographieoptiken für die Halbleiterindustrie entwickelt.

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