Optische Module für den Ultravioletten Wellenlängenbereich

WO2024179928 Art A2 6. September 2024

Anmelder: CARL ZEISS SMT GMBH 🇩🇪

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2024179928
Aktenzeichen: EP24707715
Anmeldetag: 22. Februar 2024
Veröffentlichung: 6. September 2024
Rechtsraum: WO
IPC: G03F7/00G02B7/02G02B1/10C09D5/32

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: CARL ZEISS SMT GMBH
Land: 🇩🇪 Deutschland

🇩🇪 Carl Zeiss SMT

Deutsches Unternehmen der Carl Zeiss Gruppe mit Sitz in Oberkochen, das optische Systeme und Lithographieoptiken für die Halbleiterindustrie entwickelt.

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Fachgebiete

Farben, Klebstoffe & Brennstoffe Optik & Fototechnik

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