Plasma treatment device and method of manufacturing plasma treatment device sample stand

WO2024180858 Art A1 6. September 2024

Anmelder: HITACHI HIGH-TECH CORPORATION 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.
WO2024180858
Aktenzeichen
EP23925410
Anmeldetag
12. Dezember 2023
Veröffentlichung
6. September 2024
Rechtsraum
WO
IPC
H05H1/46
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma
HITACHI HIGH-TECH CORPORATION
Land
🇯🇵 Japan
🇯🇵 Hitachi High-Tech Corporation

Japanisches Unternehmen der Hitachi-Gruppe, spezialisiert auf Analysegeräte, medizinische Diagnostik und Fertigungsanlagen für die Halbleiterindustrie.

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