Imprint apparatus and imprint method

WO2024183366 Art A1 12. September 2024

Anmelder: SVG TECH GROUP CO., LTD, SOOCHOW UNIVERSITY 🇨🇳

Details

Veröffentlichungs-Nr.
WO2024183366
Aktenzeichen
EP23926060
Anmeldetag
5. Dezember 2023
Veröffentlichung
12. September 2024
Rechtsraum
WO
IPC
G03F7/00
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firmen
SVG TECH GROUP CO., LTD
SOOCHOW UNIVERSITY
Land
🇨🇳 China
🇨🇳 Soochow University

Soochow University ist eine staatliche Universität in Suzhou, China, mit breitem Fächerspektrum einschließlich Materialwissenschaft und Chemie.

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