Verfahren und Systeme zum Ausgleich von Ladungen auf einer Oberfläche eines Objekts mit Integrierten Schaltungsmustern in einem Rasterelektronenmikroskop

WO2024184078 Art A2 12. September 2024

Anmelder: Carl Zeiss SMT GmbH 🇩🇪

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2024184078
Aktenzeichen: EP24707458
Anmeldetag: 21. Februar 2024
Veröffentlichung: 12. September 2024
Rechtsraum: WO
IPC: H01J37/244H01J37/26H01J37/28H01J37/22G01N23/225H01J37/20G01N23/2251

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Carl Zeiss SMT GmbH
Land: 🇩🇪 Deutschland

🇩🇪 Carl Zeiss SMT

Deutsches Unternehmen der Carl Zeiss Gruppe mit Sitz in Oberkochen, das optische Systeme und Lithographieoptiken für die Halbleiterindustrie entwickelt.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik

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