Plasma etching method

WO2024185953 Art A1 12. September 2024

Anmelder: AJOU UNIVERSITY INDUSTRY-ACADEMIC COOPERATION FOUN 🇰🇷

Details

Veröffentlichungs-Nr.
WO2024185953
Aktenzeichen
EP23926526
Anmeldetag
6. November 2023
Veröffentlichung
12. September 2024
Rechtsraum
WO
IPC
H01L21/311H01L21/3065C09K13/00
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma
AJOU UNIVERSITY INDUSTRY-ACADEMIC COOPERATION FOUN
Land
🇰🇷 Südkorea
🇰🇷 Ajou University Industry-Academic Cooperation Foundation

Die Ajou University Industry-Academic Cooperation Foundation ist die Patentverwertungsstelle der südkoreanischen Ajou-Universität. Das Portfolio konzentriert sich auf Medizintechnik und Gesundheit sowie Pharma/Biotechnologie, ergänzt durch Mess- und Softwaretechnik. Die Titel reichen von Motorüberspannungsschutz bis zur Bodenfeuchteschätzung mittels Mikrowellen.

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