Semiconductor chamber components with advanced coating techniques
WO2024186386
Art A1
12. September 2024
Anmelder: APPLIED MATERIALS, INC. 🇺🇸
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- WO2024186386
- Aktenzeichen
- EP24767530
- Anmeldetag
- 5. Januar 2024
- Veröffentlichung
- 12. September 2024
- Rechtsraum
- WO
- IPC
- H01J37/32C23C16/44
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firma
- APPLIED MATERIALS, INC.
- Land
- 🇺🇸 USA
🇺🇸
Applied Materials
US-amerikanisches Technologieunternehmen mit Sitz in Santa Clara, Kalifornien. Applied Materials entwickelt Fertigungsanlagen und Prozesstechnologien für die Halbleiter-, Display- und Solarindustrie, unter anderem für Beschichtung, Ätzen und Materialabscheidung.
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