Machine Vision-Based Showerhead Inspection

WO2024186582 Art A1 12. September 2024

Anmelder: LAM RESEARCH CORPORATION 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2024186582
Aktenzeichen: EP24767608
Anmeldetag: 29. Februar 2024
Veröffentlichung: 12. September 2024
Rechtsraum: WO
IPC: G06T7/00G06V10/25G06T3/40G01N21/88H01L21/67C23C16/455

Offizieller Volltext

Abstract

Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.

Anmelder

Firma: LAM RESEARCH CORPORATION
Land: 🇺🇸 USA

🇺🇸 Lam Research

US-amerikanischer Hersteller von Fertigungsanlagen für die Halbleiterindustrie mit Sitz in Fremont, Kalifornien, spezialisiert auf Ätz- und Beschichtungssysteme (Deposition) für die Chipproduktion.

2.725 Patente in unserer Datenbank

Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik Metallurgie & Oberflächentechnik Software & Datenverarbeitung

Vertreten von