Euv Mask

WO2024188563 Art A2 19. September 2024

Anmelder: ASML NETHERLANDS B.V. 🇳🇱

Details

Veröffentlichungs-Nr.
WO2024188563
Aktenzeichen
EP24704186
Anmeldetag
9. Februar 2024
Veröffentlichung
19. September 2024
Rechtsraum
WO
IPC
G03F1/26G03F1/38
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma
ASML NETHERLANDS B.V.
Land
🇳🇱 Niederlande
🇳🇱 ASML

Niederländisches Unternehmen, das Lithografiesysteme und weitere Anlagen für die Halbleiterfertigung entwickelt und herstellt, zentral für die Chipindustrie.

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