Vorrichtung und Verfahren zur Vermessung eines Bauteils und Lithografiesystem

WO2024188648 Art A1 19. September 2024

Anmelder: CARL ZEISS SMT GMBH 🇩🇪

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2024188648
Aktenzeichen: EP24708434
Anmeldetag: 28. Februar 2024
Veröffentlichung: 19. September 2024
Rechtsraum: WO
IPC: G01M11/00G01M11/04G03F7/00H01L21/02

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: CARL ZEISS SMT GMBH
Land: 🇩🇪 Deutschland

🇩🇪 Carl Zeiss SMT

Deutsches Unternehmen der Carl Zeiss Gruppe mit Sitz in Oberkochen, das optische Systeme und Lithographieoptiken für die Halbleiterindustrie entwickelt.

2.391 Patente in unserer Datenbank

Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik Optik & Fototechnik

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