Messmodul zur Positionsbestimmung einer Komponente in einem Optischen System für die Mikrolithographie

WO2024188846 Art A1 19. September 2024

Anmelder: CARL ZEISS SMT GMBH 🇩🇪

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2024188846
Aktenzeichen: EP24711146
Anmeldetag: 8. März 2024
Veröffentlichung: 19. September 2024
Rechtsraum: WO
IPC: G03F7/20G01B9/02001G01B11/14

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: CARL ZEISS SMT GMBH
Land: 🇩🇪 Deutschland

🇩🇪 Carl Zeiss SMT

Deutsches Unternehmen der Carl Zeiss Gruppe mit Sitz in Oberkochen, das optische Systeme und Lithographieoptiken für die Halbleiterindustrie entwickelt.

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Fachgebiete

Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik Optik & Fototechnik

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