Adaptives Optisches Element mit Einführelement

WO2024188993 Art A1 19. September 2024

Anmelder: CARL ZEISS SMT GMBH 🇩🇪

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2024188993
Aktenzeichen: EP24711836
Anmeldetag: 12. März 2024
Veröffentlichung: 19. September 2024
Rechtsraum: WO
IPC: G02B26/08G03F7/00

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: CARL ZEISS SMT GMBH
Land: 🇩🇪 Deutschland

🇩🇪 Carl Zeiss SMT

Deutsches Unternehmen der Carl Zeiss Gruppe mit Sitz in Oberkochen, das optische Systeme und Lithographieoptiken für die Halbleiterindustrie entwickelt.

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Fachgebiete

Optik & Fototechnik

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