Radiation-sensitive composition and pattern formation method

WO2024190204 Art A1 19. September 2024

Anmelder: JSR CORPORATION 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.
WO2024190204
Aktenzeichen
EP24770322
Anmeldetag
8. Februar 2024
Veröffentlichung
19. September 2024
Rechtsraum
WO
IPC
G03F7/004C08F22/00C09K3/00G03F7/039G03F7/20
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma
JSR CORPORATION
Land
🇯🇵 Japan
🇯🇵 JSR Corporation

JSR Corporation ist ein japanisches Chemieunternehmen, das synthetische Kautschuke sowie Materialien für die Halbleiter- und Displayindustrie herstellt.

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