Method for determining semiconductor wafer-cleaning condition, and method for cleaning semiconductor wafer

WO2024190385 Art A1 19. September 2024

Anmelder: SUMCO CORPORATION 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2024190385
Aktenzeichen: EP24770497
Anmeldetag: 26. Februar 2024
Veröffentlichung: 19. September 2024
Rechtsraum: WO
IPC: H01L21/304H01L21/316

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: SUMCO CORPORATION
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 Sumco

Sumco ist ein japanischer Hersteller von Siliziumwafern für die Halbleiterindustrie. Das Patentportfolio konzentriert sich entsprechend auf Halbleiter und elektrische Bauelemente sowie Metallurgie- und Fertigungstechnik. Anmeldungen sind von 2000 bis in die Gegenwart belegt.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente

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