Gas pressure driving device, positioning device, processing device, and device manufacturing method

WO2024190524 Art A1 19. September 2024

Anmelder: SUMITOMO HEAVY INDUSTRIES, LTD. 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.
WO2024190524
Aktenzeichen
EP24770634
Anmeldetag
5. März 2024
Veröffentlichung
19. September 2024
Rechtsraum
WO
IPC
H01L21/68H01L21/677
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma
SUMITOMO HEAVY INDUSTRIES, LTD.
Land
🇯🇵 Japan
🇯🇵 Sumitomo Heavy Industries

Japanischer Industriekonzern mit Sitz in Tokio. Sumitomo Heavy Industries fertigt Maschinenbauprodukte, Baumaschinen, Getriebe sowie Anlagen für Umwelttechnik und Schiffbau.

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