Lamp housing braze improvement for semiconductor rapid thermal processing (rtp) chamber

WO2024191787 Art A2 19. September 2024

Anmelder: APPLIED MATERIALS, INC. 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.
WO2024191787
Aktenzeichen
EP24771455
Anmeldetag
8. März 2024
Veröffentlichung
19. September 2024
Rechtsraum
WO
IPC
H01L21/67H01L21/687
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma
APPLIED MATERIALS, INC.
Land
🇺🇸 USA
🇺🇸 Applied Materials

US-amerikanisches Technologieunternehmen mit Sitz in Santa Clara, Kalifornien. Applied Materials entwickelt Fertigungsanlagen und Prozesstechnologien für die Halbleiter-, Display- und Solarindustrie, unter anderem für Beschichtung, Ätzen und Materialabscheidung.

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