Substrate storage module and method

WO2024199866 Art A1 3. Oktober 2024

Anmelder: ASML NETHERLANDS B.V. 🇳🇱

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2024199866
Aktenzeichen: EP24707222
Anmeldetag: 28. Februar 2024
Veröffentlichung: 3. Oktober 2024
Rechtsraum: WO
IPC: G03F7/00H01L21/673

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: ASML NETHERLANDS B.V.
Land: 🇳🇱 Niederlande

🇳🇱 ASML

Niederländisches Unternehmen, das Lithografiesysteme und weitere Anlagen für die Halbleiterfertigung entwickelt und herstellt, zentral für die Chipindustrie.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Optik & Fototechnik

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