Electromagnetic motor and method of determining a position dependent motor constant for an electromagnetic motor

WO2024199902 Art A1 3. Oktober 2024

Anmelder: ASML NETHERLANDS B.V. 🇳🇱

Details

Veröffentlichungs-Nr.
WO2024199902
Aktenzeichen
EP24708460
Anmeldetag
5. März 2024
Veröffentlichung
3. Oktober 2024
Rechtsraum
WO
IPC
H02P6/00H02P23/14H02P25/06
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma
ASML NETHERLANDS B.V.
Land
🇳🇱 Niederlande
🇳🇱 ASML

Niederländisches Unternehmen, das Lithografiesysteme und weitere Anlagen für die Halbleiterfertigung entwickelt und herstellt, zentral für die Chipindustrie.

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