Laser system and method for manufacturing electronic device

WO2024201755 Art A1 3. Oktober 2024

Anmelder: GIGAPHOTON INC., INTER-UNIVERSITY RESEARCH INSTITUTE CORPORATION, N 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2024201755
Aktenzeichen: EP23930395
Anmeldetag: 28. März 2023
Veröffentlichung: 3. Oktober 2024
Rechtsraum: WO
IPC: H01S3/10

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firmen: GIGAPHOTON INC.
INTER-UNIVERSITY RESEARCH INSTITUTE CORPORATION, N
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 Gigaphoton

Gigaphoton ist ein japanischer Hersteller von Excimer-Lasersystemen für die Halbleiterlithografie, ein Gemeinschaftsunternehmen unter Beteiligung von Komatsu. Das Patentportfolio konzentriert sich auf Halbleiter und elektrische Bauelemente sowie Optik und Elektronik. Anmeldungen erstrecken sich von 2001 bis 2023.

539 Patente in unserer Datenbank

Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente

Vertreten von