Substrate with conductive film, substrate with multilayer reflective film, reflective mask blank, reflective mask, and method for manufacturing semiconductor device

WO2024203007 Art A1 3. Oktober 2024

Anmelder: HOYA CORPORATION, HOYA ELECTRONICS SINGAPORE PTE. LTD. 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2024203007
Aktenzeichen: EP24779145
Anmeldetag: 5. März 2024
Veröffentlichung: 3. Oktober 2024
Rechtsraum: WO
IPC: G03F1/24G03F1/40G03F7/20

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firmen: HOYA CORPORATION
HOYA ELECTRONICS SINGAPORE PTE. LTD.
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 Hoya

Japanischer Konzern mit Sitz in Tokio, aktiv in den Bereichen optische Gläser, Halbleiterfotomasken und medizinische Endoskopie- sowie Augenheilkundeprodukte.

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Fachgebiete

Optik & Fototechnik

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